穢迹金剛相關典籍最早是從唐代‧阿地瞿多于公元652到654所翻譯的《佛說陀羅尼集經‧卷九‧金剛烏樞沙摩法》開始，後來唐‧代阿質達霰(公元732年間)譯出《穢迹金剛禁百變法經》、《穢迹金剛說神通大滿陀羅尼法術靈要門》和《大威力烏樞瑟摩明王經》後，「穢迹金剛法」即開始盛行于世。

　　自「會昌法難」後，唐代密法轉以秘密方式流傳于各佛寺之間，而穢迹金剛更與禅宗有大因緣，曆代祖師多秘密修持穢迹金剛法。自譯出《穢迹金剛》經典起算，下列爲穢迹金剛法諸祖師大德的相關事迹紀錄摘要：

　　唐‧雪峰 義存禅師傳穢迹金剛法

　　唐‧印度「中觀派」僧寂天法師用穢迹金剛法降伏外道

　　唐‧慧持大師持穢迹金剛法相應，令金剛杵飛空

　　唐末‧永明延壽以穢迹金剛咒爲日課

　　北宋‧天臺宗十七祖四明 知禮大師將穢迹金剛咒列入放生儀軌中

　　南宋‧顯超大師持穢迹金剛咒利益衆生，往生西方

　　北宋‧媽祖林默娘依止穢迹金剛法修得神力

　　南宋‧格魯派黃教宗師熱羅上師多吉紮親見「穢迹金剛」

　　元‧管主八(廣福大師)作穢迹金剛法偈頌，廣爲流通

　　明‧蓮池大師編《諸經日誦》將穢迹金剛咒列入

　　明‧方念大師每日課誦穢迹金剛咒千余遍

　　明‧性福大師持穢迹金剛咒證得肉身不壞

　　明‧憨山大師教授穢迹金剛咒治愈顛狂僧

　　清‧沈善登居士提金剛部以穢迹金剛咒爲總持

　　清‧《禅門日誦》本收錄穢迹金剛咒

　　清末民初‧楊仁山居士勸持穢迹金剛咒

　　民國‧海燈大師爲萬佛聖城宣化上人弟子傳授穢迹金剛咒

　　民國‧唐密穢迹金剛傳承上師寶霞法師傳授穢迹金剛咒

　　民國‧慧叁大師廣爲傳授穢迹金剛神咒