指密教中，誦持光明真言，爲滅罪、除病、息災等所修之秘法。此法尤以滅罪爲主。又稱光明供、光言法。一般之土沙加持法，亦以修持此法爲主。
不空罥索光真言經（大一九·六○六中）：“若有衆生隨處得聞此大灌頂光真言二叁七遍，經耳根者，即得除滅一切罪障。（中略）以是真言加持土沙一百八遍，屍陀林中散亡者屍骸上，或散墓上，遇皆散之，（中略）應時即得光明及身，除諸罪報，舍所苦身，往于西方極樂國土，蓮華化生，乃至菩提，更不墮落。”
關于此法之本尊，諸家傳習不一。據覺禅鈔光明真言之說，或以不空罥索爲本尊，或以阿彌陀佛爲本尊。然深秘之傳習，則以胎藏大日如來爲本尊。［不空罥索神變真言經卷二十八、光明真言土沙勸信記、薄草紙］
（修法）法會名。屬于顯行之光明供也。
（真言）稱光明真言也。
（真言）常稱曰蘇婆儞蘇婆（降叁世）吽（破壞）縛曰羅（金剛）吽發吒（破壞）而本軌則爲儞蘇婆（降叁世）縛曰羅（金剛）吽發吒（破壞）大咒有降叁世五重結護之秘釋。
（真言）又曰法界生真言。南谟叁曼多佛陀南。達摩馱都。薩嚩婆縛。句痕。第一句歸命如常，第二句達摩馱都爲法界之義，第叁句薩嚩婆縛爲自性之義，第四句句痕爲我之義。法界即是佛身，下句雲我者即是法界，此行者雖未能即體真性，但作此印，誦真言，亦即同于體法界也。見大日經密印品，同疏十叁。又&DF-87AD;唵&DF-87A9;[口*藍]。瑜伽蓮華部念誦法曰：“若觸穢處，當于頂上觀有法界生字，放赤色光，所謂[口*藍]字。于所食物皆加持此字，即不成穢觸。于一切供養香華等皆加此字，放白色光，即無穢觸，所供養物皆遍法界。”此中唵爲金剛界之歸命語，叁身等之義如常。
（真言）（歸命語上略）摩拏啰摩達摩叁婆嚩費婆嚩迦他那。叁。叁。莎诃。第一句摩拏啰摩爲意悅之義，受種種樂，故意悅也。第二句達摩叁婆嚩爲法生之義，此爲佛所化生，不關于世天之垢，自法而生也。第叁句，費婆嚩爲隨有之義，第四句迦他那爲說之義，通上句曰隨有所說，隨彼法而生，以之解法爲衆生說法也。第五第六之叁叁，皆爲其種子，阿爲谛宣之義，契與不契皆離，實體與空同，極令空，故爲重字。見大日經疏十。
（真言）見五淨居天條。
即“修唎修唎 摩诃修唎 修修唎 薩婆诃”十四字。據銷釋金剛科儀會要注解卷二載，誦此真言者，可清淨一切口業，不誦此真言，即使以恒河水漱口，亦不得清淨。
（真言）即“修唎修唎。摩诃修唎。修修唎。薩婆诃。”十四字也。銷釋金剛科儀會要注解二曰：“誦此真言者，一切口業悉皆清淨。不誦真言，以恒河水漱，亦不淨也。”
即“修唎修唎，摩诃修唎，修修唎，薩婆诃。”十四字。 - 陳義孝編
即：“修唎修唎,摩诃修唎，修修唎，薩婆诃”。
- 梵心居士編
（真言）凡修法之初，忏悔法了後，必手結蓮華合掌印，口誦此真言，除淨吾身口意叁業之垢染也。其真言曰：唵。薩縛婆縛。[禾*述]馱。薩羅縛達磨。薩縛婆縛。[禾*述]度。欠。Om svabh&amacron;vaśuddha sarvadharma svabh&amacron;va śuddhah&amacron;&mdotabv;。第一句之唵爲金剛界真言歸命語，叁身之義，歸命等之義如常。第二句薩縛婆縛爲自性之義，第叁句[禾*述]馱爲自（淨）之義，通上句即謂自身之自性清淨也。第四句薩縛達磨爲一切法之義，即謂一切法之自（淨）性清淨也。第五句薩縛婆縛[禾*述]度，[禾*述]度爲他（淨）之義，即謂他身之自性清淨也，蓋謂自身及一切諸法與他身共自性清淨。結句之欠爲我之義，即謂今以此自他法清淨真言加持故，本具之自性顯現，我身之叁業今實清白也。
即：“唵，修哆唎，修哆唎，修摩唎，修摩唎，薩婆呵”。
- 梵心居士編
即：“唵，口縛曰啰怛诃賀斛”。
- 梵心居士編
（真言）即“唵。誐誐曩。叁婆襪日啰斛”十字也。銷釋金剛科儀會要注解二曰：“此明行人，念真言時，運心作觀想。此所供之物，用淨法界嚂字真言，及以吉祥手印，加持二十一遍。以爲清淨法食，自然周遍法界。手印（吉祥手印）者，以右手大拇指與無名指相撚，余叁指皆舒散，次念變食真言。”
指十一面觀音之真言，有大、小二咒。大咒爲：根本陀羅尼 唵娜羅娜羅 地哩地哩 度噜度噜 壹知縛知者隸者隸 碆羅者隸 缽羅者隸 矩蘇銘 矩蘇摩縛隸 壹裏弭裏 止裏止致 惹羅摩跛曩也 跛羅摩秫馱 薩怛縛 摩诃迦噜尼迦 娑縛诃。小咒爲：唵 噜雞 入縛羅 纥哩。［陀羅尼集經卷四、十一面觀自在菩薩心密言念誦儀軌經（不空）、十一面神咒心經（玄奘）］
（真言）念十一面觀音時之誦文，密教所用，有大小二咒。
（真言）文殊菩薩之印與陀羅尼也。