真言行者菩提心一念之功德有六种位别，称为六无畏。即真言行者于地前三劫所得之利益。无畏，安稳苏息之义，此六处为行者再生苏息之处，故称六无畏。即：(一)善无畏，行十善业，止十不善业，常生于人天，远离三途之苦，为第一苏息处。即真言行者依三密之行而供养本尊之位。(二)身无畏，修循身观等，不生贪爱，于己身离诸扼缚，为第二苏息处。即真言行者依有相之观行，本尊之众相现前之位。(三)　　无我无畏，了知我乃取蕴之积集，求之不可得，离我之扼缚，为第三苏息处。即真言行者于瑜伽境界之一切分段中，观心不可得，不生爱慢之位。(四)法无畏，观察诸蕴即空，远离诸蕴之扼缚，为第四苏息处。即真言行者于瑜伽境界如镜像水月，观无性无生之位。(五)法无我无畏，观察法无我性，觉了本不生之理，远离法之扼缚，为第五苏息处。即真言行者于瑜伽道中得心自在之位。(六)一切法自性平等无畏，观自心毕竟空性，我、蕴、法及无缘等皆同一性，即了知自性无性而生空智，远离有为无为界之二种扼缚，为第六苏息处。即真言行者观心实际，住虚空无垢菩提心之位。此六无畏配以三劫，前四者乃初劫之位，第五为第二劫之位，第六为第三劫之位。唯三劫乃就所度之三妄执（粗、细、极细）而立，六无畏则就能度之净菩提心而说。［大日经卷一住心品、大日经疏卷三、真言名目、大日经疏钞卷一、秘宗教相钞卷五］

　　（名数）真言行者于地前三劫所得之利益也。见无畏条。

　　（名数）真言行者菩提心一念之功德有六种之差别，谓之六无畏，无畏者，安稳苏息之义，一切众生被烦恼所缚而似死灭，若到此六处，则各各离彼之扼缚，而得苏息，故名无畏。凡大日经之说相，地前立三阿僧祇劫，于此三劫越粗妄执与细妄执及极细妄执之三妄执，此上更立十地，为开发金刚宝藏位，以上上方便更断微细之妄执，而至于佛果。即三劫十地之次第，三劫为地前，十地为地上。十地者，第四之一切也（与显教以三劫为究竟异），于此地前三劫差降真言行者所得之功德而立六无畏也：一善无畏，是即世间之善心，持五戒十善等离三途业之位也。真言行人修三密而供养本尊之位与之齐。二身无畏，二乘行者不净观等成就，于身之扼缚得解脱之位也。真言行人依有相观于坛上本尊众相现前之位与之齐。三无我无畏，二乘之人证无我之理，于一切法观无我相之见道位也。真言行人于本尊海会觉众像为缘生，不生爱着之位与之齐。四法无畏，二乘之人于五蕴等法觉性相为空证偏真之理之无学道位也。真言行人于瑜伽境界如水月镜像观无性无相之位与之齐。五法无我无畏，三乘之人，了万法唯心心外无法而心得自在之位也。真言行人知一切境界皆自心功德得自在之用之位与之齐。六平等无畏，一乘之人了万法一实真如，于诸法无能所本末，住于平等法界之位也。真言行人现诸法本不生，住心实际平等本源之位与之齐。已上六无畏以三劫配之，则前四者乃初劫之位，第五者乃第二劫之位，第六者乃第三劫之位也。但三劫就所度之妄执而立之，六无畏就能度之净心而立之。见大日经疏三十、住心广名目六、辩惑指南三。