(一)梵语sva^ha^。音译为僧莎诃、娑婆诃、萨婆诃、苏婆诃、娑缚贺、僧婆诃。意译作究竟、圆满、成就、吉祥、息灾、忆念。为真言密咒中最后所附之语句，亦是古来印度在供神时，祈求幸福吉祥所唱念之赞叹语。如般若心经（大八·八四八下）：“揭谛　　揭谛　　波罗揭谛　　波罗僧揭谛　　菩提萨婆诃。”

　　(二)三种、四种等坛法之一。于密教，为增益福德所修之法，通称为增益法。

　　（术语）四种坛法之一。为增益福德，祈念南方宝部诸尊之修法也。大日经疏十一曰：“增益亦名圆满，谓能满一切所愿也。”秘藏记末曰：“增益用宝部尊。”同本曰：“增益法，以白月日出起首，行者面向东方，半跏坐若结跏趺坐。其修福德者即观我身遍法界，成黄金方坛。又观身成降三世尊极善怡相也，我口即炉口。又想身作如意宝珠，雨七宝及杂财物，满自界院内及法界。若为他觅官位封禄，观国王大臣爱念某甲授与官禄。若为他求庆者，观诸佛菩萨加被国王大臣爱念与庆。若修智慧者，观从我心智慧日轮光明出现照曜法界。”

此卽小乘同类因。杂集论四卷十七页云：增益者：谓前际修习善不善无记法故；能令后际善等诸法，展转增胜，后后生起。前际修习者：谓先所数习现行义。后际展转增胜后后生起者：谓由彼长养诸种子故；于未来世，卽彼种类，增胜而生。如是诸法，能为相似增长因故；立同类因。 - 朱芾煌

扩大。 - 庄春江居士编