印佛，即以香、土砂、木材等做成佛形而以香薰之。印佛作法，則指以土砂、木材等畫或雕成佛像約九公分左右，燃香薰之，藉此以滅罪，或施此尊佛像之功德予衆生。其作法次第爲：先行叁禮，誦如來咒，次以薰煙印佛于虛空中（或印于水中、砂中等），次金剛合掌，唱偈“我今香煙印如來，相好具足放光明，遍滿虛空世界海，猶如燈炎無障礙。依此印佛功德力，利益無邊有情海，共生極樂證妙果，恒爲衆生解脫緣。”次結誦佛眼印言、大日印言。上述偈中之“我今香煙印如來”一句，可因時製宜，如供奉菩薩或其他諸尊者，則可改誦“我今香煙印菩薩”等。此外，若將木材等雕刻成五輪塔婆形作法，而不以佛形作法者，則稱爲印塔作法。［作法集、真言修行頌卷二］

　　（修法）或印之于紙上，或印之于淨沙上，或印于虛空等，先于一前機備香花，置形木。次，叁禮，誦如來咒。次，淨叁業印言。次，叁昧耶戒印言，針印。叁摩耶，薩埵鍐次，發菩提心印言，外縛定印。唵菩提質多摩陀波陀耶彌。次，勸請合掌誦：“我今香煙印如來（水虛空等隨改），相好具足放光明。遍滿虛空世界海，猶如燈煙無障礙。依此印印佛德力，恒爲衆生解脫緣。”次，以右手取棒印佛。左手持念珠記數，誦真言已，印之（此真言有異說，大日佛眼者，大日所印之佛），想所印之所尊，五眼具足，叁身圓滿，與真佛無異，乘此香煙（虛空水等隨改），周遍于十方界。利益衆生，共成佛道。次，印佛數滿已，總以香華供養。次，普供養印明。次，回向。願我所修印佛善。回施叁有及四恩。自他共入菩提城。同證一如真如法界。印佛軌雲：“印沙土，地中生類離苦得樂。印水上，水中生類離苦得樂。”