印佛，即以香、土砂、木材等做成佛形而以香薰之。印佛作法，则指以土砂、木材等画或雕成佛像约九公分左右，燃香薰之，藉此以灭罪，或施此尊佛像之功德予众生。其作法次第为：先行三礼，诵如来咒，次以薰烟印佛于虚空中（或印于水中、砂中等），次金刚合掌，唱偈“我今香烟印如来，相好具足放光明，遍满虚空世界海，犹如灯炎无障碍。依此印佛功德力，利益无边有情海，共生极乐证妙果，恒为众生解脱缘。”次结诵佛眼印言、大日印言。上述偈中之“我今香烟印如来”一句，可因时制宜，如供奉菩萨或其他诸尊者，则可改诵“我今香烟印菩萨”等。此外，若将木材等雕刻成五轮塔婆形作法，而不以佛形作法者，则称为印塔作法。［作法集、真言修行颂卷二］

　　（修法）或印之于纸上，或印之于净沙上，或印于虚空等，先于一前机备香花，置形木。次，三礼，诵如来咒。次，净三业印言。次，三昧耶戒印言，针印。三摩耶，萨埵鍐次，发菩提心印言，外缚定印。唵菩提质多摩陀波陀耶弥。次，劝请合掌诵：“我今香烟印如来（水虚空等随改），相好具足放光明。遍满虚空世界海，犹如灯烟无障碍。依此印印佛德力，恒为众生解脱缘。”次，以右手取棒印佛。左手持念珠记数，诵真言已，印之（此真言有异说，大日佛眼者，大日所印之佛），想所印之所尊，五眼具足，三身圆满，与真佛无异，乘此香烟（虚空水等随改），周遍于十方界。利益众生，共成佛道。次，印佛数满已，总以香华供养。次，普供养印明。次，回向。愿我所修印佛善。回施三有及四恩。自他共入菩提城。同证一如真如法界。印佛轨云：“印沙土，地中生类离苦得乐。印水上，水中生类离苦得乐。”