(一)梵語sva^ha^。音譯爲僧莎诃、娑婆诃、薩婆诃、蘇婆诃、娑縛賀、僧婆诃。意譯作究竟、圓滿、成就、吉祥、息災、憶念。爲真言密咒中最後所附之語句，亦是古來印度在供神時，祈求幸福吉祥所唱念之贊歎語。如般若心經（大八·八四八下）：“揭谛　　揭谛　　波羅揭谛　　波羅僧揭谛　　菩提薩婆诃。”

　　(二)叁種、四種等壇法之一。于密教，爲增益福德所修之法，通稱爲增益法。

　　（術語）四種壇法之一。爲增益福德，祈念南方寶部諸尊之修法也。大日經疏十一曰：“增益亦名圓滿，謂能滿一切所願也。”秘藏記末曰：“增益用寶部尊。”同本曰：“增益法，以白月日出起首，行者面向東方，半跏坐若結跏趺坐。其修福德者即觀我身遍法界，成黃金方壇。又觀身成降叁世尊極善怡相也，我口即爐口。又想身作如意寶珠，雨七寶及雜財物，滿自界院內及法界。若爲他覓官位封祿，觀國王大臣愛念某甲授與官祿。若爲他求慶者，觀諸佛菩薩加被國王大臣愛念與慶。若修智慧者，觀從我心智慧日輪光明出現照曜法界。”

此卽小乘同類因。雜集論四卷十七頁雲：增益者：謂前際修習善不善無記法故；能令後際善等諸法，展轉增勝，後後生起。前際修習者：謂先所數習現行義。後際展轉增勝後後生起者：謂由彼長養諸種子故；于未來世，卽彼種類，增勝而生。如是諸法，能爲相似增長因故；立同類因。 - 朱芾煌

擴大。 - 莊春江居士編